芯明天壓電物鏡定位器的應(yīng)用領(lǐng)域
芯明天壓電物鏡定位器以壓電陶瓷為驅(qū)動源，帶載物鏡做納米級步進運動，機構(gòu)采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向機構(gòu)設(shè)計，物鏡補償量小，具有良好聚焦穩(wěn)定性。芯明天壓電物鏡定位器在結(jié)構(gòu)上可分為三種類型結(jié)構(gòu)：高動態(tài)型、大行程型及大負(fù)載型。
高動態(tài)壓電物鏡定位器
該系列壓電物鏡定位器采用的平行四邊形設(shè)計原理，高剛度，可帶200g負(fù)載高速運動。
大行程壓電物鏡定位器
該系列產(chǎn)品是大行程、高速、壓電陶瓷驅(qū)動的聚焦顯微掃描裝置，產(chǎn)品體積小巧，位移行程可達500μm。
大負(fù)載壓電物鏡定位器
大負(fù)載壓電物鏡定位器具有承載力大、響應(yīng)速度快、Z軸運動直線性好等特點，可帶500g負(fù)載高速運動。
應(yīng)用領(lǐng)域
光學(xué)顯微成像：
顯微光學(xué)成像，是指透過樣品或從樣品反射回來的可見光，通過一個或多個透鏡后得到微小樣品的放大圖像的技術(shù)。壓電物鏡定位器可帶動物鏡頭做Z向精密高速運動，可使觀測精度達納米級。
白光干涉：
白光干涉技術(shù)以可見光為光源，光源發(fā)出的白光通過干涉物鏡后在半透射光學(xué)平面反射一半光強，另一半光強透射后照射在量測物表面并反射再次進入干涉物鏡，與原光學(xué)平面的反射光產(chǎn)生干涉。搭配芯明天P73系列壓電物鏡定位器，準(zhǔn)確性高可達納米解析度，垂直掃描高度可達500μm。
晶圓切割：
激光經(jīng)過透鏡聚焦，再通過壓電物鏡定位器調(diào)整焦點的位置，使焦點準(zhǔn)確的定位在晶圓待切割部位，被切割部位溫度升高，然后使之熔化或汽化。隨著激光與被切割材料的相對運動，在切割材料上形成切縫從而達到切割的目的。
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