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芯明天P17系列壓電掃描臺(tái)

更新時(shí)間： 2020-01-06

P17 系列

P17 系列壓電掃描臺(tái)是專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應(yīng)用而研發(fā)設(shè)計(jì)的二維掃描臺(tái)。臺(tái)體采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，可以實(shí)現(xiàn)XY 軸187.5μm的掃描范圍，通光孔為60×60mm，在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。

特點(diǎn)

• 位移187.5μm

• 承載能力1kg

• 通孔尺寸：60×60mm

• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高

• 響應(yīng)速度快

應(yīng)用

• 圖像處理與穩(wěn)定/掃描顯微

• 干涉/ 計(jì)量

• 表面檢測(cè)

• 晶圓定位/微操作

階躍時(shí)間

大行程穩(wěn)定性好響應(yīng)速度快

P17系列壓電掃描臺(tái)為壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)快速、高精度掃描臺(tái)，可以實(shí)現(xiàn)XY軸187.5×187.5μm 的位移行程，優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)無(wú)摩擦、導(dǎo)向精度高、響應(yīng)速度快、響應(yīng)時(shí)間可達(dá)5毫秒。閉環(huán)版本采用高精度的傳感反饋，與E00/E01 系列閉環(huán)控制器配套使用，具有非常高的穩(wěn)定性。臺(tái)體中心60×60mm 大通孔，適合工業(yè)自動(dòng)化中的晶圓定位或微操作等應(yīng)用。

應(yīng)用實(shí)例

P17 系列壓電掃描臺(tái)適用于需要大行程高精度的應(yīng)用，該產(chǎn)品已經(jīng)成功應(yīng)用于半導(dǎo)體測(cè)試、表面結(jié)構(gòu)分析、顯微成像等領(lǐng)域。與芯明天壓電物鏡定位器配套用于晶圓定位，可帶動(dòng)晶圓做XY 軸187.5μm 行程范圍的納米級(jí)精密定位。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)	S-閉環(huán) K-開(kāi)環(huán)	P17.XY200S P17.XY200K	單位
運(yùn)動(dòng)自由度		X、Y
行程范圍（0~120V）		150/軸	μm
行程范圍（0~150V）		187.5/軸	μm
傳感器類型		SGS/-
通孔尺寸		60×60	mm
閉/開(kāi)環(huán)分辨率		8/5	nm
閉環(huán)線性度		0.1/-	%F.S
閉環(huán)重復(fù)定位精度		0.05/-	%F.S
俯仰/偏航/滾動(dòng)		<15	μrad
推/拉力		40/15	N
運(yùn)動(dòng)方向剛度		X0.2/Y0.2	N/μm
空載諧振頻率		X240/Y400	Hz
閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間		30/5	ms
閉環(huán)空載工作頻率	10%行程	50	Hz
	行程	10
承載能力		1	kg
靜電容量		3.6/軸	μF
材質(zhì)		鋼、鋁
重量		660	g

是專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應(yīng)用而研發(fā)設(shè)計(jì)的二維掃描臺(tái)。臺(tái)體采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，可以實(shí)現(xiàn)XY 軸187.5μm的掃描范圍，通光孔為60×60mm，在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。