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N50.U系列為一維θx軸偏擺的壓電偏擺臺，它的承載能力可達60kg，偏轉(zhuǎn)角度為±0.25mrad。它采用電容式閉環(huán)傳感器，分辨率可達10nrad，并可在20kg載荷下高頻率工作。它非常適于大負載偏擺運動實驗，如空間擾動模擬等。

特點

一維θx軸偏擺   

承載高達60kg

偏擺角度0.5mrad@150V

±0.01mrad下使用頻率達210Hz

典型應用

光束掃描

大負載偏擺運動

干涉/計量

空間擾動模擬系統(tǒng)、

閉環(huán)電壓與位移曲線

注：施加至壓電陶瓷的電壓為驅(qū)動控制電壓的12倍。

20ms階躍曲線

使用頻率與振幅曲線(20kg負載下)

技術參數(shù)

型號：N50.U0C

運動自由度：θx

標稱偏擺角：0.4mrad(≈80秒)@120V

偏擺角：0.5mrad(≈100 秒)@150V

傳感器類型：CAP

閉/開環(huán)分辨率：0.02/0.01μrad(＜0.01秒)

閉環(huán)線性度：0.3%F.S.

閉環(huán)重復定位精度：0.3%F.S.

空載諧振頻率：750Hz

閉/開環(huán)空載階躍時間：30/15ms

承載能力：60kg

靜電容量：30μF

材質(zhì)：鋁、鋼