微納操作系統(tǒng)中的微動壓電鉗
作為微納操作系統(tǒng)中的一個末端執(zhí)行機構，微動夾鉗主要完成微小尺寸樣品的夾取、搬運、放置與釋放。壓電鉗通過傳動機構，將電壓轉化為鉗口的位移輸出，通過鉗口閉合實現(xiàn)微操作對象的夾持，張開實現(xiàn)微操作對象的釋放。
芯明天研發(fā)生產的微動壓電鉗是由壓電陶瓷疊堆驅動，采用柔性鉸鏈機械放大結構，具有分辨率高、響應速度快、無摩擦等特點。夾持位移可達100微米，是微納操作系統(tǒng)中*的執(zhí)行器件。
特點
• 夾持位移達100μm
• 亞毫秒級響應時間
• 諧振頻率達1.5kHz
技術參數(shù)
型號：XD002-D2
運動自由度：X
行程范圍（0~120V）：80μm
行程范圍（0~150V）：100μm
推/拉力：10/1N
運動方向剛度：0.04N/μm
空載諧振頻率：1500Hz
空載階躍時間：0.7ms
空載滿行程工作頻率：300Hz
大承載：0.05kg
靜電容量：0.18μF
材質：不銹鋼
重量：10g
驅動控制
E53.A壓電控制器非常適合驅動XD-002系列微動壓電鉗，即可保證快速的響應時間，又可保證壓電鉗的工作穩(wěn)定性。同時E53系列壓電控制器的外形非常緊湊，體積小巧，易于集成。
定制版壓電鉗
夾持行程：500μm@150V
靜電容量：1.6μF
空載諧振頻率:180Hz
材質:鈦合金
夾持行程：1000μm@150V
靜電容量：3.4μF
空載諧振頻率：110Hz
材質：鈦合金
夾持行程：1000μm@150V
靜電容量：3.6μF
空載諧振頻率：90Hz
重復定位精度：0.5%F.S.
位移傳感器：有
材質：鈦合金
