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N62系列壓電掃描臺為XY 軸平移掃描臺，機構放大設計原理，中心通孔孔徑為26mm，可以實現XY軸±10μm的位移行程，產品體積小巧、結構緊湊易于集成與安裝。

特點

• 位移可達±10μm

• 承載能力1kg

• 可定制

• 真空版本可選

典型應用

• 顯微成像

• 表面檢測

• 圖像穩定

• 干涉/ 計量

頻率負載曲線

高動態 高分辨率

N62系列壓電掃描臺為小體積高精度平移掃描臺，是特別為高分辨率、高動態、高定位精度應用而設計的XY軸掃描臺，內置高可靠性壓電陶瓷，可以實現XY軸±10μm的位移行程，分辨率可以達到0.5nm，滿行程重復定位精度達納米級。

產品采用不銹鋼材質，特殊的結構設計使其具有非常大的剛度，空載諧振頻率達2000Hz，滿足工業上對高頻率、高精度等應用的需求。

動態性能好

下圖為N62.XY20K帶載10g負載在500Hz頻率下位移曲線。

技術參數

型號：N62.XY20

運動自由度：XY

行程范圍（0~120V）：±8μm/軸

行程范圍（0~150V）：±10μm/軸

閉環傳感器類型：SGS

通孔尺寸：Ø26mm

閉/開環分辨率：1/0.5nm

閉環線性度：0.3%F.S.

閉環重復定位精度：0.1%F.S.

俯仰/偏航/滾動：<10μrad

推/拉力：44/44N

運動方向剛度：X2.2/Y2.2N/μm

空載諧振頻率：X2000/Y2000Hz

閉/開環空載階躍時間：1.5/0.7ms

承載能力：1kg

靜電容量：1.6μF/軸

材質：鋼、鋁

重量：180g