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S20/S21壓電偏擺/旋轉臺為一維θz旋轉臺，產品體積小巧，大旋轉角度8.5mrad，承載能力達2kg，可帶動鏡片做精密旋轉運動。

特性：

• θz旋轉

• 大旋轉角度8.5mrad

• 閉環定位精度高

• 響應速度快

• 體積小巧

典型應用

• 光路調整 • 干涉

• 光束掃描 • 計量

應用實例

   S21系列壓電旋轉臺可以與芯明天任意平臺或傾斜臺配合使用， 組成多軸精密壓電定位臺，用于多維精密直線與旋轉定位操作。

小體積、高分辨率、高精度

     S21θz一維旋轉臺采用機構放大設計原理，可以實 現大8.5mrad的旋轉，體積小巧、結構緊湊，尺寸僅 為60×60×15mm，非常易于集成到精密旋轉設備中。

   采用壓電陶瓷作為驅動元件，臺體采用柔性鉸鏈機 構，無摩擦、無回差，可以實現0.2μrad的分辨率。內 置SGS傳感器配套閉環控制器可以實現微弧度的定位精 度，在光路精密角度調整中起著非常重要的作用。

驅動控制方式

   S21為θz一維壓電旋轉臺，單通道壓電控制器即可驅動控制，閉 環版本P21配套E01系列閉環控制器，實現θz高精度旋轉定位控制。

N20/P21壓電偏擺/旋轉臺技術參數：

以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。